Наименование изделий | Спецификации |
Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремний в масштабе 10:1 |
1. Тип маскирующего слоя - хром |
Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремний в масштабе 5:1 |
1. Тип маскировочного слоя - хром |
Рабочие шаблоны для контактной и проекционной литографии в масштабе 1:1 | 1. Тип маскировочного слоя - хром, оксид железа 2. Минимальный элемент – 1,0 мкм Разброс ± 0,10 мкм 3. Точность совмещения в комплекте ± 0,6 мкм 4. Размер стекла: 102 х 102 х 2,6 мм (4″кв. x 0,090″) 127 х 127 х 2,6 мм (5″кв. x 0,090″) 153 х 153 х 2,6 мм (6″кв. x 0,090″) |
Дополнительные возможности при изготовлении шаблонов |
1. Конфигурация распечатки рабочего поля – по желанию заказчика 2. Возможность распечатки на одном шаблоне любого количества вариантов топологии |
Шаблонные заготовки: |
1. Размеры заготовок 102 х 102 х 2,6 мм 127 х 127 х 2,6 мм 153 х 153 х 2,6 мм 2. Тип стекла: кальций-натриевое, кварц 3. Типы маскирующего слоя: хром, окись железа 4. Типы резиста: позитивный фоторезист, позитивный электронорезист |
Оптические защитные мембраны | 1. На собственных рамках 2. На рамках заказчика 3. Для длин волн 365 нм, 405 нм и 436 нм 4. Пропускание 99±1% |
Филиал «Завод полупроводниковых приборов» ОАО «ИНТЕГРАЛ» - управляющая компания холдинга "ИНТЕГРАЛ".
Производство «ФОТЭК»
(+375-17) 360 10 60 – начальник производства ФОТЭК
(+375-17) 271 15 16 – зам. начальника производства ФОТЭК
факс: (+375-17) 373 75 13, 224 60 51, 338 12 94,(для производства ФОТЭК)
E-mail: STarasevich@integral.by , SBunas@integral.by