| Наименование изделий | Спецификации |
| Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремний в масштабе 10:1 |
1. Тип маскирующего слоя - хром 127 х 127 х 2,4 мм (5˝кв. x 0,090″) – кварц |
| Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремний в масштабе 5:1 |
1. Тип маскировочного слоя - хром 127 х 127 х 2,4 мм (5˝кв. x 0,090″) – кварц |
| Рабочие шаблоны для контактной и проекционной литографии в масштабе 1:1 | 1. Тип маскировочного слоя - хром, оксид железа 2. Минимальный элемент – 1,0 мкм Разброс ± 0,10 мкм 3. Точность совмещения в комплекте ± 0,6 мкм 4. Размер стекла: 102 х 102 мм (4″кв. x 0,090″) 127 х 127 мм (5″кв. x 0,090″) 153 х 153 мм (6″кв. x 0,090″) |
| Дополнительные возможности при изготовлении шаблонов |
1. Конфигурация распечатки рабочего поля – по желанию заказчика 2. Возможность распечатки на одном шаблоне любого количества вариантов топологии |
|
Шаблонные заготовки: ПФ |
1. Размеры заготовок 102 х 102 х 2,4 мм 127 х 127 х 2,4 мм 153 х 153 х 2,4 мм 2. Тип стекла: кальций-натриевое, кварц 3. Типы маскирующего слоя: хром, окись железа 4. Типы резиста: позитивный фоторезист, позитивный электронорезист |
| Оптические защитные мембраны | 1. На собственных рамках 2. На рамках заказчика 3. Для длин волн 365 нм, 405 нм и 436 нм 4. Пропускание 99±1% |
Филиал «Завод полупроводниковых приборов» ОАО «ИНТЕГРАЛ» - управляющая компания холдинга "ИНТЕГРАЛ".
Производство «ФОТЭК»
(+375-17) 398 15 16 – зам. начальника производства ФОТЭК
(+375-17) 212 10 60 – начальник производства ФОТЭК
факс: (+375-17) 398 60 51, 398 12 94, 212 15 13 (для производства ФОТЭК)
E-mail: FPoleschuk@integral.by, STarasevich@integral.by
