28 июня 2019

Производство 12 пополнилось двумя установками: IPEC 472 и DSS 200. Они были приобретены и запущены с целью перевода изделий, изготавливаемых на пластинах диаметром 150 мм, на современную технологию создания многослойной металлизации.
IPEC 472 предназначена для проведения операций химико-механической полировки диэлектрических слоев. Принцип ее работы весьма прост, но вместе с тем и эффективен. «Машина» имеет станцию загрузки: в кассету вставляется до 25 пластин. Далее робот отправляет их в установку и передвигает каждую поочередно на полировочный стол. За счет вращения полировочной головы, а также при помощи откалиброванных режимов с добавлением суспензии Klebosol пластина полируется. Потом попадает в станцию выгрузки, куда подается вода. Это сделано для того, чтобы суспензия не застыла на пластине (достаточно и полминуты), также вода направляет пластины обратно в паз. 
Оборудование прибыло на производство осенью 2018-го. Сначала совместно с иностранным специалистом происходила настройка калибровочных параметров, затем проводились первые тесты. Главная задача была достигнуть нужной скорости полировки, ее равномерности, отсутствия дефектности, рассчитать расход материалов, прижим пластины и так далее. 
Сейчас же необходимо отработать полный новый маршрут пластины. Старый отличался нанесением жидких стекол (SOG), так добивались равномерности поверхности пластины, далее она проходила процесс отжига и травления. 
Установка DSS 200 предназначена для отмывки пластин: при помощи специальных валиков, воды и 2% раствора аммиака их поверхность очищается от суспензии Klebosol. Это следующий этап после IPEC 472. Раньше этот процесс происходил на советском оборудовании «Лада-150». Главный вопрос, который нужно было отработать, правильный транспортный маршрут: чтобы пластина от начальной до конечной точки проходила без запинки. 
Новые установки позволят в дальнейшем улучшить качество и надежность выпускаемых микросхем.