Преимущество – в возможностях

Вы здесь

19 июля 2021

Технология быстрой термической обработки (БТО) – важный процесс в микроэлектронике. Для этого на производстве № 3 используются две установки: УБТО № 1 и УБТО ПИТ 1801. Кроме времени создания, у них есть и другие отличия.
Как сообщил ведущий инженер-технолог производства № 3 Василий Сивец, УБТО ПИТ 1801 запустили около года назад, но до этого процессы на ней отрабатывали изготовители. Установка для улучшения электрических параметров изделий электроники на основе быстрой термообработки представляет собой автоматизированную систему, способную термически обрабатывать в инертной или иной газовой среде полупроводниковые пластины.
Принцип работы заключается в быстром нагреве пластины в течение коротких периодов от 1 до 600 секунд до температуры 1 200 градусов. Установка состоит из трех основных модулей: реактора, робота и системы управления. Реакторный модуль содержит блок нагрева, камеру отжига и затвор.
Скоростной нагрев происходит за счет излучения высокой интенсивности вольфрамовых галогенных ламп в реакторе. Для обеспечения максимальной чистоты атмосферы в реакторе перед началом процесса производится его вакуумирование с последующим заполнением газами. В нашем случае – азотом, кислородом, аргоном.
Обычно роботизированная система выполняет следующие шаги: извлечение пластины из подающей кассеты, ориентация по базовому срезу, загрузка в камеру быстрой термообработки, затем выгрузка, установка пластины на пост охлаждения и загрузка в приемную кассету. Предусмотрены механические и программные блокировки в случае возникновения нештатных ситуаций.
Для управления и визуального контроля процесса имеется сенсорная панель. Она позволяет управлять установкой в ручном режиме, проводить наладочные и тестовые работы, а также запускать автоматический режим.
«Термообработка происходит быстро, например, пластина может отжигаться 10-30 секунд в зависимости от заданных технологических параметров. Но есть особенность: после нагрева необходимо охлаждение, поэтому в целом цикл занимает где-то 3,5 минуты», – поясняет ведущий инженер-технолог.
УБТО № 1 эксплуатируется на производстве № 3 с 2013 года. Она была введена для того, чтобы заменить диффузионную печь. Термический отжиг, в отличие от диффузионного, в разы быстрее, так как в печи для достижения того же эффекта необходимо 30 минут, а здесь – 20 секунд.
В установке нет компьютерной системы, поэтому все настройки выставляются оператором, он же загружает пластины. Отжиг происходит просто в атмосфере, среда не контролируется, а вакуум отсутствует. На установке возможен отжиг пластин диаметром от 75 до 150 мм, но используется она для диаметра 100 мм. Отличаются от УБТО ПИТ 1801 и габариты: они гораздо меньше, чем у более новой версии, так как не используются газы, а значит, отсутствует необходимость в дополнительных клапанах для разводки.
Она, в сравнении с новой, более узко специализирована, ведь предназначена для отжига ионно-имплантированных слоев. Степень чистоты, естественно, тоже другая. Класс чистоты – 1 000. 
«Конечно, УБТО ПИТ 1801 – это совсем другой уровень. Главное преимущество – в возможностях. У установки большой потенциал, который позволит отжигать многие изделия. Планируется работа с силицидом платины, формирование титана, никеля. Когда танцует робот, в этом есть какая-то эстетика, на установке приятно работать. Старая же специализируется на другом, но она также еще готова выполнять множество задач», – резюмирует Василий Сивец.

© 1998-2021, Холдинг "ИНТЕГРАЛ"
Преимущество – в возможностях | Интеграл

Ошибка

На сайте произошла непредвиденная ошибка. Пожалуйста, повторите попытку позже.