3 января 2019

Национальным центром интеллектуальной собственности Республики Беларусь холдингу «Интеграл» выданы три патента на изобретения.

Патенты №№ 22172 и 22209 – на два различных способа изготовления биполярного транзистора со статической индукцией. Изобретения могут быть использованы в производстве транзисторов со статической индукцией как в качестве дискретных элементов, так и в составе интегральных схем. Их задача – упрощение и удешевление изготовления транзисторов с заданными электрическими характеристиками, повышение выхода годных приборов. Первый способ (патент № 22172) решает ее путем использования толстого (локального) окисла в качестве маскирующего покрытия при формировании области эмиттера. Второй (патент № 22209) – путем повторного использования фотошаблона «Металл» на фотолитографии, когда требуется сравнить слой фоторезиста в области охранного кольца и для формирования металлических контактов к базовой и эмиттерной областям транзистора.

В числе авторов данных изобретений – ведущие конструкторы Сергей Гетьман и Николай Леонов, ведущий инженер Наталья Лагунович отделения «Т» филиала НТЦ «Белмикросистемы».

Патент № 22157 выдан на изобретение «Способ контроля качества процесса ионной имплантации в производстве интегральных микросхем». Оно относится к процессам имплантации кремниевых пластин ионами бора и фосфора, которые используются для создания активных элементов при производстве ИМС. Решает задачу обеспечения достоверности и воспроизводимости результатов определения дозы имплантации в пластину, повышения качества ИМС и процента выхода годных изделий.

Авторы изобретения – специалисты производства 12: заместитель начальника по технологии и оборудованию Владимир Шикуло, ведущие инженеры-технологи Анатолий Кисель и Александр Деркач.