Технология изготовления тиристоров, триаков
Технология изготовления тиристоров, триаков
- Характеристика процесса: Подложка КОФ35,
10 фотолитографий (контактная, двухсторонняя)
База: диффузия бора,
глубина, мкм 35-45
Катод: диффузия фосфора,
глубина, мкм 15-18
Защита p-n переходов: SiPOS, Si3N4, СТФСС
Металлизация:Al 2,0 мкм
Пассивация: НТФСС+ПХО
Обр. сторона: Ti-Ni-Ag - Применение, элементная база: Iос=2,0 А
Uпроб=(600-800) В