Биполярная технология изготовления pnp-транзисторов с токами коллектора (7,5÷16) А
Биполярная технология изготовления pnp-транзисторов с токами коллектора (7,5÷16) А
- Характеристика процесса: Эпитаксиальная структура
Подложка КДБ 0,05 (111)
Толщина эпитаксиального слоя, мкм 25-28
Удельное сопротивление, Ом x см 8-11
7 фотолитографий (контактная)
База: ионная имплантация фосфора,
глубина, мкм 4,5-7,5
Эмиттер: диффузия бора,
глубина, мкм 1,4-2,5
Защита p-n переходов: SiO2,Ta2O5
Металлизация: Al 4,0 мкм
Обр. сторона: Ti-Ni-Ag - Применение, элементная база: Uкб=(80-160) B
Uкэ=(30-90) В
Iк=(7,5-16) А
h21э>15