Биполярная технология изготовления мощных pnp-транзисторов Дарлингтона
Биполярная технология изготовления мощных pnp-транзисторов Дарлингтона
- Характеристика процесса: Эпитаксиальная структура
Подложка КДБ 0,05 (111):
Толщина слоя, мкм 25-33
Удельное сопротивление, Ом x см 10-18
6,7 фотолитографий (контактная)
База: ионная имплантация фосфора,
глубина, мкм 6-8
Эмиттер: диффузия бора, глубина, мкм 2,5-5,5
Защита p-n переходов: SiO2,Ta2O5
Металлизация: Al 4,5 мкм
Обр. сторона: Ti-Ni-Ag - Применение, элементная база: Uкб=(60-70) B
Uкэ=(60-70) В
Iк=(2,0-12) А
h21э>500