Биполярная технология изготовления мощных npn-транзисторов Дарлингтона

Биполярная технология изготовления мощных npn-транзисторов Дарлингтона

  • Характеристика процесса: Подложка                              КЭС 0,01 (111)
    Толщина эпитаксиального слоя, мкм  27-38
    Удельное сопротивление,  Ом x см          8-21 
    6-7 фотолитографий (контактная)
    База: ионная имплантация,
    глубина, мкм                                             6-8
    Эмиттер: диффузия,
    глубина, мкм                                       2,5-5,5
    Защита p-n перехода коллектор-база SiPOS
    Металлизация: Al 4,5  мкм
    Обр. сторона: Ti-Ni-Ag
    Пассивация:  НТФСС(ПХО)
  • Применение, элементная база: Uкб=(330-350) B
    Uкэ=(150-350) В
    Iк=(5-15) А
    h21э>100