Биполярная технология изготовления мощных npn-транзисторов Дарлингтона
Биполярная технология изготовления мощных npn-транзисторов Дарлингтона
- Характеристика процесса: Подложка КЭС 0,01 (111)
Толщина эпитаксиального слоя, мкм 27-38
Удельное сопротивление, Ом x см 8-21
6-7 фотолитографий (контактная)
База: ионная имплантация,
глубина, мкм 6-8
Эмиттер: диффузия,
глубина, мкм 2,5-5,5
Защита p-n перехода коллектор-база SiPOS
Металлизация: Al 4,5 мкм
Обр. сторона: Ti-Ni-Ag
Пассивация: НТФСС(ПХО) - Применение, элементная база: Uкб=(330-350) B
Uкэ=(150-350) В
Iк=(5-15) А
h21э>100