5 В «Изопланар – 1» “BpI-30-5”
5 В «Изопланар – 1» “BpI-30-5”
- Характеристика процесса: Количество фотолитографий, шт 15
Проектная норма, мкм 2.0
Подложка: 460КДБ10 (111)
Скрытые слои: 2,5КЭС35/1,95КДБ210
Эпитаксиальный слой: 1.5КЭФ0.3
Изоляция: LOCOS + p+ - охранные кольца
Глубина p-базы, мкм 0.854
Глубина N+эмиттера, мкм 0.55
Размер эмиттера, мкм 2*3
Расстояние между
транзисторами, мкм 2
Коммутация:
контакты 1, мкм 2*3
шаг 1 металл, мкм 6.5
контакты 2, мкм 4*4
шаг 2 металл, мкм 10.0 - Применение, элементная база:
Цифроаналоговые ИС малой и средней степени интеграции с Еп до 5 В
Вертикальный NPN транзистор:
Вп=100 Uсе=8 В
Горизонтальный PNP транзистор:
Вр=25 Uce=20 ВРезисторы в слое: База