5 В «Изопланар – 1» “BpI-30-5”

5 В «Изопланар – 1» “BpI-30-5”

  • Характеристика процесса: Количество фотолитографий, шт             15
    Проектная норма, мкм                           2.0
    Подложка:                            460КДБ10 (111)
    Скрытые слои:       2,5КЭС35/1,95КДБ210
    Эпитаксиальный слой:              1.5КЭФ0.3
    Изоляция: LOCOS + p+ - охранные кольца
    Глубина p-базы, мкм                           0.854
    Глубина N+эмиттера, мкм                   0.55
    Размер эмиттера, мкм                           2*3
    Расстояние между 
    транзисторами, мкм                                   2
    Коммутация:
    контакты 1, мкм                                       2*3
    шаг 1 металл, мкм                                   6.5
    контакты 2, мкм                                      4*4
    шаг 2 металл, мкм                                10.0
  • Применение, элементная база:

    Цифроаналоговые ИС малой и средней степени интеграции с Еп до 5 В

    Вертикальный NPN транзистор:
    Вп=100 Uсе=8 В
    Горизонтальный PNP транзистор:
    Вр=25 Uce=20 В

    Резисторы в слое: База