15 В с изоляцией p-n переходом
15 В с изоляцией p-n переходом
- Характеристика процесса: Количество фотолитографий, шт 10-13
Проектная норма, мкм 2.0
Подложка: 460КДБ10 (111)
Скрытые слои: 6КЭС20/1.95КДБ210
Эпитаксиальный слой: 8КЭФ4.5
Изоляция: p-n переход
Глубина p-базы, мкм 2.4
Глубина N+эмиттера, мкм 1.7
Размер эмиттера, мкм 6
Расстояние между транзисторами, мкм 6
Коммутация: контакты 1, мкм 4
шаг 1 металл, мкм 13 - Применение, элементная база: Цифроаналоговые ИС малой и средней степени интеграции с Еп до 18 В
Вертикальный NPN:
Вn=150 Uce=28 В
Горизонтальный РNP:
Вр=35 Uсе=45 В
Вертикальный РNP:
Вр=35 Uсе=45 В
Конденсатор: Ме-n+эмиттер.
Резисторы в слое ПКК