Наименование изделий Спецификации
Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремний 
в масштабе 10:1

1. Тип маскирующего слоя - хром
2. Минимальный элемент – 4 мкм
Разброс ± 0,15 мкм
3. Максимальный размер дефекта – 2,0 мкм; 1,5 мкм; 1,0 мкм
4. Точность совмещения в комплект масок - 0,8 мкм 
5. Размеры стекла:
127 х 127 х 2,4 мм (5˝кв. x 0,090″) – кальций-натриевое

127 х 127 х 2,4 мм (5˝кв. x 0,090″) – кварц
153 х 153 х 2,4 мм (6˝кв. x 0,090″) – кальций -натриевое

Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремний в масштабе 5:1

1. Тип маскировочного слоя - хром
2. Минимальный элемент – 2 мкм
Разброс ± 0,10 мкм
3. Максимальный размер дефекта – 2,0 мкм; 1,5 мкм; 1,0 мкм
4. Точность совмещения в комплекте масок – 0,6 мкм 
5. Размер стекла:
127 х 127 х 2,4 мм (5˝кв. x 0,090″) – кальций-натриевое

127 х 127 х 2,4 мм (5˝кв. x 0,090″) – кварц
153 х 153 х 2,4 мм (6˝кв. x 0,090″) – кальций-натриевое
152 х 152 х 6,35 мм (6˝кв. x 0,250″) - кварц 

Рабочие шаблоны для контактной и проекционной литографии в масштабе 1:1 1. Тип маскировочного слоя - хром, оксид железа 
2. Минимальный элемент – 1,0 мкм
Разброс ± 0,10 мкм
3. Точность совмещения в комплекте ± 0,6 мкм
4. Размер стекла: 
102 х 102 мм (4″кв. x 0,090″)
127 х 127 мм (5″кв. x 0,090″)
153 х 153 мм (6″кв. x 0,090″)

 
Дополнительные возможности при изготовлении шаблонов
 
1. Конфигурация распечатки рабочего поля – по желанию заказчика
2. Возможность распечатки на одном шаблоне любого количества вариантов топологии

 

Шаблонные заготовки:
ПЖФ
ПХФ
ПХЭР

ПФ

1. Размеры заготовок
102 х 102 х 2,4 мм
127 х 127 х 2,4 мм
153 х 153 х 2,4 мм
2. Тип стекла: кальций-натриевое, кварц
3. Типы маскирующего слоя: хром, окись железа
4. Типы резиста: позитивный фоторезист, позитивный электронорезист
Оптические защитные мембраны 1. На собственных рамках
2. На рамках заказчика
3. Для длин волн 365 нм, 405 нм и 436 нм
4. Пропускание 99±1%

 

Филиал «Завод полупроводниковых приборов» ОАО «ИНТЕГРАЛ» - управляющая компания холдинга "ИНТЕГРАЛ".
Производство «ФОТЭК»
 (+375-17) 398 15 16 – зам. начальника производства ФОТЭК
(+375-17) 212 10 60 – начальник производства ФОТЭК
факс: (+375-17) 398 60 51, 398 12 94, 212 15 13 (для производства ФОТЭК)

E-mail: FPoleschuk@integral.by, STarasevich@integral.by