17 марта 2017

В прошлом году технический парк производства 20 пополнился американской установкой для травления диэлектрических пленок Rainbow 4520. Оборудование покупали для участка плазмохимического травления и практически сразу же внедрили в технологический процесс.
«До приобретения Rainbow 4520 на участке работали пять установок «Лада-35». Каждая из них  эксплуатировалась не одно десятилетие, поэтому имела определенную степень моральной изношенности. Требовалось обновление, которое позволило бы расширить возможности травления и улучшить качество продукции, – рассказывает ведущий инженер-технолог участка плазмохимического травления Владимир Прокофьев. – Новая установка предназначена непосредственно для SOG-планаризации и травления межуровневых диэлектриков, позволяет добиться лучшей равномерности травления по пластине и снизить дефектность. Когда только начинали эксплуатацию, через оборудование проходило порядка ста пластин в месяц, а в январе уже достигли тысячи. Если говорить о разновидности изделий, то Rainbow 4520 подстроен под работу с пластинами диаметром 100 мм, но при наличии дополнительной комплектующей оснастки на установке можно также травить пластины Ø 150 и 200 мм».
По словам В. Прокофьева, пока возможности оборудования используются не в полном объеме. Еще больший эффект от Rainbow 4520 можно получить, если приобрести на участок фотолитографии установку для отмывки края. Но это пока – отдаленная перспектива.