1 декабря 2017

Нет предела совершенству. Но любая технология привязана к парку оборудования и, следовательно, имеет ограничения развития. Дальнейшее продвижение предприятия – в освоении новых технологий и материалов.

О том, какой путь возможен для «Интеграла», рассказал заместитель главного инженера по новым технологическим маршрутам и процессам Олег Божаткин:

– Основу продукции нашего предприятия составляет микроэлектронная компонентная база – интегральные микросхемы и полупроводниковые приборы различного уровня сложности. Изготавливается номенклатура изделий по биполярным технологиям с проектными нормами от 3 до 1,5 мкм; КМОП-технологиям с проектными нормами от 3 до 0,35 мкм; БиКМОП-технологиям с проектными нормами от 2 до 1,2 мкм; БиКДМОП-технологиям с проектной нормой от 3 до 1,2 мкм. Обеспечиваемый диапазон напряжений питания –1,5-800 В.

Но развитие технологий не останавливается, рынок электронной компонентной базы выдвигает новые требования как по увеличению функциональных возможностей, так и по улучшению потребительских качеств изготавливаемой продукции, в том числе – повышению быстродействия и снижению энергопотребления изделий. Движение по этому пути без модернизации существующих и создания новых технологий невозможно. И в настоящее время такая работа идет. При участии специалистов управлений главного технолога и главного конструктора, филиала НТЦ «Белмикросистемы» реализуется проект по освоению кристаллов на пластинах диаметром 150 мм по биполярной и БиКДМОП-технологии с проектной нормой от 3 до 0,8 мкм. В этом году также начато создание технологии нового для «Интеграла» класса дискретных приборов – МОП-транзисторов компенсационного типа (COOLFET).

– Кто задействован в этих процессах?

– Работа ведется не только нашим предприятием. «Интеграл» всегда действовал в содружестве с институтами Национальной академии наук Беларуси. И для решения задач по развитию технологического потенциала в стране сформирован крупный микроэлектронный кластер. В него вошли: Институты физики, физики твердого тела и полупроводников, НПЦ по материаловедению НАН Беларуси, ГНПО «Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника» и другие; ряд высших учебных заведений, в числе которых БГУ, БГУИР, БНТУ; промышленные предприятия ОАО «Минский НИИ радиоматериалов», ГНПК «Планар» и прочие.

Сотрудничество исследовательских организаций и промышленных предприятий должно обеспечить выработку инновационных научных и технологических подходов для выпуска разрабатываемых изделий микро-, опто-, СВЧ-электроники и электронных приборов на новом, более высоком научно-техническом уровне. Благодаря использованию новейших достижений в области материаловедения, нано- и микроструктур и соответствующих технологий, физики полупроводниковых гетероструктур, микро-, нано- и волоконной оптики, фотоприемных устройств, мы рассчитываем провести диверсификацию выпускаемых изделий.

– Обозначьте задачи «Интеграла» в условиях функционирования кластера.

– Наше предприятие – наиболее мощная промышленная составляющая инновационно-промышленного кластера. Главная задача – создание современного высокотехнологичного производства, способного в сжатые сроки осваивать конкурентоспособную на внутреннем и мировом рынках электронную компонентную базу, изделия электроники. Кроме того, важно укрепить позиции на имеющихся сегментах рынка и завоевывать новые секторы.

Для достижения этих целей серьезной помощью стало бы создание отдельного технологического центра с современной экспериментально-промышленной базой для ускоренных разработок и освоения новых поколений изделий, а также – возможностью мелкосерийного производства сложных изделий с высокой добавленной стоимостью.

– Какие шаги сделаны в этом направлении?

– Совместно с Институтом физики НАН Беларуси разработана концепция межведомственного микроэлектронного технологического центра. В таком центре возможно создание новых для «Интеграла» технологий. К примеру, расширение опций действующих технологических процессов КМОП, БиКМОП на основе пленочных структур металлов, оксидов, нитридов и сложных керамик, фотоприемных устройств ИК-диапазона; разработка энергонезависимой памяти на новых принципах функционирования; создание СВЧ- и MEMS-структур на стеклянных и керамических подложках;

проектирование элементов технологии силовых приборов на широкозонных полупроводниках SiC, GaN. Это только малая часть перспектив, которые откроет специализированный центр.

– Какие изделия можно производить по новым технологиям?

– Круг велик. К примеру, трехмерные структуры FeRAM с возможностью формировать малые размеры запоминающей ячейки при приемлемых размерах элементов активной структуры. Мы сможем продолжить развитие мощных силовых приборов на гетероструктурах. Такие приборы необходимы и найдут широкое применение в бытовой, транспортной, промышленной, аэрокосмической сферах, а также в новых для Беларуси областях: электро- и гибридные автомобили, преобразователи для солнечной энергетики (PV-inverters), блоки питания PVC, ультрафиолетовые источники излучения для медицины.

Помимо прочего, откроет новые горизонты создание технологии 2,5-3D сборки на основе интерпозеров. Указанные выше приборы можно объединять в гибридные микросистемы. Их составными элементами могут быть уже производимые предприятием схемы управления и предлагаемые к разработке датчики – фоточувствительные, сенсорные, высоковольтные. Такие современные микросистемы применяются в космической технике, средствах телекоммуникации, медицинской диагностической и терапевтической аппаратуре, системах специального назначения. Они существенно повышают характеристики традиционных технических систем различного направления и способствуют появлению новых типов изделий.

– Параметры изделий улучшатся при использовании новых материалов?

– Новые материалы благодаря своим свойствам, во-первых, могут значительно повысить быстродействие хотя бы за счет более высокой подвижности носителей арсенида галлия. Во-вторых, широкая запрещенная зона и высокая теплопроводность материала увеличат диапазон рабочих температур для изделий специального назначения. Третье: рост пробивных напряжений позволит выпускать диоды и транзисторы с большей мощностью. Все это конкурентные преимущества.

– Ваше мнение о ближайших перспективах холдинга?

– Интересный вопрос. Направлений много, одно из них – движение к четвертой промышленной революции, так называемой индустрии 4.0. При таком укладе все сферы жизни – работа, досуг, предпочтения, здоровье, круг общения и прочее – встроено в одну систему, отслеживается, анализируется и регулируется глобальной сетью. Закон Мура никто не отменял. Мы продолжаем движение вперед, ищем направления развития для «Интеграла». Новые материалы и технологии – одно из них.